電界放出陰極を装備し、加速電圧30kVで二次電子分解能が0.5nm、1kVで
1.8nmの高い分解能を有している。試料ホルダーはインレンズ型であり、
透過電子顕微鏡用のグリッドメッシュ上の試料、または、縦5mm、横10mm、
高さ2mm以下の寸法の試料が観察できます。
