　試料表面にできたダメージ層を低エネルギー（～2eV)イオンビームで
取り除く、仕上げ用のイオン研磨装置である。電子顕微鏡試料の作成
加速エネルギー30～10keVのイオンビームが広く利用されるが、イオン
照射により研磨表面に数10nmのアモルファス層が形成される。