収差補正電子顕微鏡によるデバイス材料の原子レベル構造解析

 S. Inamoto, J. Yamasaki, et al., Philosophical Magazine Letters, 91(9) (2011) 632-639.
J. Yamasaki, et al., Journal of Physics D: Applied Physics, 45 (2012) 494002_1-8.


 電子顕微鏡のレンズの不完全性を補完する「収差補正電子顕微鏡」が近年実用化されました。この装置を用いて、各種高機能デバイス材料の原子レベル構造解析に取り組んでいます。また、収差補正電子顕微鏡の結像特性に基づいて、ナノ粒子の三次元分布を短時間のうちに取得可能な新規三次元計測法の開発にも取り組んでいます。

平成23,24年度 文科省科研費・若手研究(B) No. 23760030 代表者
挑戦的萌芽研究(28,29年度) No. 16K13688