「ナノ計測・分析」領域・機能を担当する超高圧電子顕微鏡センターでは、産学官の研究機関から要望の多い「材料ならびに生体のナノ構造解析」を中心として支援事業を実施します。支援の一つの焦点は、本センターに設置されている世界最高加速電圧300万ボルト超高圧電子顕微鏡の特長を活かして、汎用電子顕微鏡では観察不可能なミクロンオーダーの厚い試料の内部をナノ分析能で観察して構造解析する手法にあります。例えば、LSIデバイスの基板やプロセス層内に存在する欠陥、あるいは、細胞組織内小器官の配置とその結合について、3次元的に観察・解析します。前者では、バルク的特性を有した厚さを持つ試料の内部を観察することにより、試料ない応力が保全され、また、薄膜化することにより発生する各種のアーティファクトを避けることが出来ます。つまり、試料をより動作状態に近い形態で解析でき、産業化における材料開発やデバイス開発に貢献できます。また、後者においては、トモグラフィーと組み合わせることにより、細胞内部の微細構造および発生した変異を3次元的に解析することが出来ます。
　この他、高分解能電子顕微鏡や分析電子顕微鏡などによる研究支援も提供します。

　　お問い合わせ

保田　英洋　（大阪大学超高圧電子顕微鏡センター・教授）
森　博太郎　（「ナノ計測・分析」領域・特任教授）
鷹岡　昭夫　（「ナノ計測・分析」領域・特任教授）
松本　智絵　（「ナノ計測・分析」領域・機能事務補佐員）

nanonet（at）uhvem.osaka-u.ac.jp
(メール送信時のお願い：お手数ですが、 (at)を@に置き換えて下さい。SPAMメール防止のため)

〒　567-0047　茨木市美穂ヶ丘　7-1
Tel: 06-6879-7941 , Fax: 06-6879-7942

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お知らせ　
　 H24年度に装置の利用を希望される方は申請書を超高圧電子顕微鏡センター事務局まで
　　 お送り下さい

　　支援結果を基に論文・学会発表等された場合は、成果利用届に押印した書類をＰＤＦ
　　　　ファイルでお送り下さい。

　ナノネットを利用した成果報告（論文等）では下記の様な謝辞を付記されるよう
　　　お願いいたします。

【和文】
　本研究の一部は、大阪大学超高圧電子顕微鏡センターにおける
「文部科学省ナノテクノロジーネットワークプロジェクト（阪大複合機能ナノファウンダリ）」の
支援を受けて実施されました。

【英文】
　A part of this work was supported by "Nanotechnology Network Project of the Ministry of
Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT), Japan" at the Research Center
for Ultrahigh Voltage Electron Microscopy, Osaka University (Handai multi-functional Nano-Foundry).

　
　支援実績（H19年度、H20年度、H21年度、H22年度）